Каталог

Наименование Кат № Фасовка Цена, руб.
Фильтры для газов In-line Metal

Производитель : Entegris

Детальное описание : Фильтры на основе никелевой мембраны и мембраны из нержавеющей стали.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Фильтры для газов In-line Teflon®

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Фильтры для газов In-line Teflon® – фильтры на основе фторопластовой мембраны.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Очистители газов GateKeeper®

Производитель : Entegris

Детальное описание :

4-1.png

Преимущества неорганического катализатора очистителей GateKeeper®:

• эффективность очистки до уровня <1 ppb

• не выделяются углеводороды

• наиболее низкое падение давления

Наилучшие характеристики по экономичности – не потребляется электроэнергия и нагрев, большинство моделей регенерируемые. Широкий ряд типономиналов и типоразмеров от 1 л/мин. до 20 000 л/мин., предназначены для очистки основных газов и в точке использования.

Cерии очистителей GateKeeper®

Серия

Основное
применение

Очищаемые
газы

Удаляемые примеси

Несовмести-
мые газы

С – Corrosive

Травление, очистка
камер

HCI, Сl2, НВr,
ВCl3, SiCl4, SiF4

<1 ppb H2О в N2

NH3 и другие
гидриды

Н – Hydrogen

П/п материалы на
основе АЗВ5, SiGe
эпитаксия, отжиг

Н2, Н2 + инерт-
ные газы,
смеси

<1 ppb O2, CO, CO2, и H2O

О2, CDA(Air),
NF3, SF6,
Corrosives, NH3

I – Inert

Продувка, высо-
ко-чист. сварка,
аналитическое
оборудование,
газ-носитель

N2, Не, Ne, Кr,
Аr, галогенво-
дороды, легкие
углеводороды

<1 ppb H2, СО, и CO2
<100 ppt H2O, O2

О2, CDA (Air),
NF3, SF6,
Corrosives, NH3

N – Non-
Reactive

Окисление, плаз-
менное травление

SF6, O2, N2O,
O2 +инертные
газовые смеси

<1 ppb CO2, H2O – только удаляет
H2О из SF6 и СО2;
<1 ppt не-метановые углеводороды

Corrosives, NF3

О – Optics

Фотолитография,
продувка оптики

CDA (Clean Dry
Air)

<1 ppb H2S, Н2О, СО2, амины, кис-
лотообразующие газы и спирты;
<100 ppt NOx;
<10 ppt NH3;
<1 ppt не-метановые углеводороды,
SO2, siloxanes

Corrosives, NH3

SK–Hydride

П/п материалы на
основе АЗВ5, SiGe
эпитаксия

NH3, AsH3, PH3,
SiH4,GeH4

<1 ppb О2, СО2, H2О и oxidation
byproducts

О2, CDA (Air),
NF3, SF6

LK – Carbon
Monoxide

Травление

CO

<1 ppb H2О, карбонилы металлов

NF3 и SF6


Опции GateKeeper®

• Изолирующие вентили изолируют процессную линию при замене очистителя.

• Индикатор влаги

– Индицирует время замены очистителя по замерам влаги на выходе

– Доступен для I, N, H, O серий очистителей

– Монтируется непосредственно в корпус 2500K и 10M моделей

– Конфигурация с тройником для меньших моделей.

• Манифолды

– 3 и 5-ти вентильные манифолды обеспечивают байпасный поток газа при продувке, вакуумировании линий или нештатных ситуациях

– Манифолды для замены позволяют потребителю переключиться на свежий очиститель при отправке на регенерацию отработанного без потерь времени на восстановление функций оборудования

Модель

Макс. поток
(л/мин.)

Номиналь-
ный поток (л/
мин.)

Макс. раб.
давление
(psig / kPa)

Падение давле-
ния (psid / kPa)

Длина
(in / cm)

Диаметр
(in / cm)

35KF

1

0.5

2900/19995

0.5 / 3.4

3.31 /8.4

1.5/3.8

70KF

3

1

2900/19995

0.7/4.8

4.5/11.4

1.5/3.8

100KF

20

2

1000/6895

4 / 27.6

3.31 /8.4

6/15.2

300KF

50

7

700 / 4826

5 / 34.5

8.2/20.8

2/5.1

500KF

60

12

700 / 4826

7 / 48.3

7.94 / 20.2

3/7.6

500KFHP

60

12

2900/19995

7 / 48.3

7.94 / 20.2

3/7.6

700KF

120

18

700 / 4826

7 / 48.3

10/25.4

3/7.6

2500КН

300

60

250/1724

2.5/17.2

17.3/43.9
17.6/44.7

4/10.2

10МН

1000

220

250/1724

1/2” – 9/62
3/4” – 5.3 / 36.5

38.36 / 97.4
56.4/143.3

6/15.2

45М

5000

1100

3000 / 20684

< 110 / 758

58/147.3

9.6 / 24.4

200М

20000

3500

200/1379

4 / 27.6

63.44/161.1

44/111.8

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS4

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая система до 120 л/мин. Разработана под небольшие потоки. Является одной из наименьших существующих систем. Монтаж системы может быть как настенный, так и напольный.

Имеющиеся модели:

– EGPS4H – для очистки водорода

– EGPS4I – для очистки инертных газов

– EGPS4SK – для очистки аммиака

– EGPS4Z – XCDA

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков PGPS4

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Субсистема до 120 л/мин. Внутри система полностью идентична EGPS4. Основные отличия: отсутствие управляющего экрана, простой LED интерфейс и невысокая стоимость для производителей процессного оборудования. Данная система может быть заказана как дополнительная опция к установкам Veeco and Aixtron MOCVD.

Имеющиеся модели:

– PGPS4H – для очистки водорода

– PGPS4I – для очистки инертных газов

– PGPS4SK – для очистки аммиака

– PGPS4Z – XCDA

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS8

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая система до 300/500 л/мин. для Z серии). Разработана специально для высоких газовых потоков. Размеры для сканеров ASML 1200, 1400 или 1700.

Имеющиеся модели:

– EGPS8H – для очистки водорода

– EGPS8I – для очистки инертных газов

– EGPS8SK – для очистки аммиака

– EGPS8Z – XCDA

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS12

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая модель до 1000 л/мин. Является наибольшей из имеющихся систем очистки. Данная модель разработана для обслуживания сразу нескольких установок. Позволяет обслуживать несколько сканеров ASML.

Имеющиеся модели:

– EGPS12H – для очистки водорода

– EGPS12I – для очистки инертных газов

– EGPS12Z – XCDA

– EGPS12SK – для очистки аммиака

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Системы очистки газов AERONEX AGPS для больших потоков 5 000 л/мин.

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Система 5 000 л/мин. – это одиночный модуль, размеры которого подобраны для одного сканера.

Имеющиеся модели: AGPS2EZ2 – XCDA и AGPS2EI – азот.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Системы очистки газов AERONEX AGPS для больших потоков 10 000 л/мин.

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Система 10 000 л/мин. – это двойной модуль, он размещается задник к заднику.

Имеющиеся модели: AGPS2FZ2 – XCDA и AGPS2FI – азот.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Очистители газов Chacollet™

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Очиститель газов Chacollet™ удаляет молекулярные примеси из высокочистого сжатого воздуха и азота. Эффективная защита сканеров для DUV фотолитографии.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Очистка и фильтрация воздуха

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Решения для контроля молекулярных примесей в воздухе (удаление примесей аминов, анионов кислот и следов органики).

Предназначение по месту применения:

1. HVAC. Потолочные фильтры чистых помещений размещаются в системах кондиционирования воздуха.

2. Сканер. Комплекс очистителей и фильтров, предназначенных для защиты от молекулярных примесей внутренней среды, оптики и газов эксимерных лазеров.

3. Фотолитографические треки. Фильтры для размещения в трековом фотолитографическом оборудовании, используются для удаления из воздуха молекулярных примесей.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Фильтры для газов In-line Metal

Производитель : Entegris

Детальное описание : Фильтры на основе никелевой мембраны и мембраны из нержавеющей стали.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Фильтры для газов In-line Teflon®

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Фильтры для газов In-line Teflon® – фильтры на основе фторопластовой мембраны.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Очистители газов GateKeeper®

Производитель : Entegris

Детальное описание :

4-1.png

Преимущества неорганического катализатора очистителей GateKeeper®:

• эффективность очистки до уровня <1 ppb

• не выделяются углеводороды

• наиболее низкое падение давления

Наилучшие характеристики по экономичности – не потребляется электроэнергия и нагрев, большинство моделей регенерируемые. Широкий ряд типономиналов и типоразмеров от 1 л/мин. до 20 000 л/мин., предназначены для очистки основных газов и в точке использования.

Cерии очистителей GateKeeper®

Серия

Основное
применение

Очищаемые
газы

Удаляемые примеси

Несовмести-
мые газы

С – Corrosive

Травление, очистка
камер

HCI, Сl2, НВr,
ВCl3, SiCl4, SiF4

<1 ppb H2О в N2

NH3 и другие
гидриды

Н – Hydrogen

П/п материалы на
основе АЗВ5, SiGe
эпитаксия, отжиг

Н2, Н2 + инерт-
ные газы,
смеси

<1 ppb O2, CO, CO2, и H2O

О2, CDA(Air),
NF3, SF6,
Corrosives, NH3

I – Inert

Продувка, высо-
ко-чист. сварка,
аналитическое
оборудование,
газ-носитель

N2, Не, Ne, Кr,
Аr, галогенво-
дороды, легкие
углеводороды

<1 ppb H2, СО, и CO2
<100 ppt H2O, O2

О2, CDA (Air),
NF3, SF6,
Corrosives, NH3

N – Non-
Reactive

Окисление, плаз-
менное травление

SF6, O2, N2O,
O2 +инертные
газовые смеси

<1 ppb CO2, H2O – только удаляет
H2О из SF6 и СО2;
<1 ppt не-метановые углеводороды

Corrosives, NF3

О – Optics

Фотолитография,
продувка оптики

CDA (Clean Dry
Air)

<1 ppb H2S, Н2О, СО2, амины, кис-
лотообразующие газы и спирты;
<100 ppt NOx;
<10 ppt NH3;
<1 ppt не-метановые углеводороды,
SO2, siloxanes

Corrosives, NH3

SK–Hydride

П/п материалы на
основе АЗВ5, SiGe
эпитаксия

NH3, AsH3, PH3,
SiH4,GeH4

<1 ppb О2, СО2, H2О и oxidation
byproducts

О2, CDA (Air),
NF3, SF6

LK – Carbon
Monoxide

Травление

CO

<1 ppb H2О, карбонилы металлов

NF3 и SF6


Опции GateKeeper®

• Изолирующие вентили изолируют процессную линию при замене очистителя.

• Индикатор влаги

– Индицирует время замены очистителя по замерам влаги на выходе

– Доступен для I, N, H, O серий очистителей

– Монтируется непосредственно в корпус 2500K и 10M моделей

– Конфигурация с тройником для меньших моделей.

• Манифолды

– 3 и 5-ти вентильные манифолды обеспечивают байпасный поток газа при продувке, вакуумировании линий или нештатных ситуациях

– Манифолды для замены позволяют потребителю переключиться на свежий очиститель при отправке на регенерацию отработанного без потерь времени на восстановление функций оборудования

Модель

Макс. поток
(л/мин.)

Номиналь-
ный поток (л/
мин.)

Макс. раб.
давление
(psig / kPa)

Падение давле-
ния (psid / kPa)

Длина
(in / cm)

Диаметр
(in / cm)

35KF

1

0.5

2900/19995

0.5 / 3.4

3.31 /8.4

1.5/3.8

70KF

3

1

2900/19995

0.7/4.8

4.5/11.4

1.5/3.8

100KF

20

2

1000/6895

4 / 27.6

3.31 /8.4

6/15.2

300KF

50

7

700 / 4826

5 / 34.5

8.2/20.8

2/5.1

500KF

60

12

700 / 4826

7 / 48.3

7.94 / 20.2

3/7.6

500KFHP

60

12

2900/19995

7 / 48.3

7.94 / 20.2

3/7.6

700KF

120

18

700 / 4826

7 / 48.3

10/25.4

3/7.6

2500КН

300

60

250/1724

2.5/17.2

17.3/43.9
17.6/44.7

4/10.2

10МН

1000

220

250/1724

1/2” – 9/62
3/4” – 5.3 / 36.5

38.36 / 97.4
56.4/143.3

6/15.2

45М

5000

1100

3000 / 20684

< 110 / 758

58/147.3

9.6 / 24.4

200М

20000

3500

200/1379

4 / 27.6

63.44/161.1

44/111.8

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS4

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая система до 120 л/мин. Разработана под небольшие потоки. Является одной из наименьших существующих систем. Монтаж системы может быть как настенный, так и напольный.

Имеющиеся модели:

– EGPS4H – для очистки водорода

– EGPS4I – для очистки инертных газов

– EGPS4SK – для очистки аммиака

– EGPS4Z – XCDA

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков PGPS4

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Субсистема до 120 л/мин. Внутри система полностью идентична EGPS4. Основные отличия: отсутствие управляющего экрана, простой LED интерфейс и невысокая стоимость для производителей процессного оборудования. Данная система может быть заказана как дополнительная опция к установкам Veeco and Aixtron MOCVD.

Имеющиеся модели:

– PGPS4H – для очистки водорода

– PGPS4I – для очистки инертных газов

– PGPS4SK – для очистки аммиака

– PGPS4Z – XCDA

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS8

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая система до 300/500 л/мин. для Z серии). Разработана специально для высоких газовых потоков. Размеры для сканеров ASML 1200, 1400 или 1700.

Имеющиеся модели:

– EGPS8H – для очистки водорода

– EGPS8I – для очистки инертных газов

– EGPS8SK – для очистки аммиака

– EGPS8Z – XCDA

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS12

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая модель до 1000 л/мин. Является наибольшей из имеющихся систем очистки. Данная модель разработана для обслуживания сразу нескольких установок. Позволяет обслуживать несколько сканеров ASML.

Имеющиеся модели:

– EGPS12H – для очистки водорода

– EGPS12I – для очистки инертных газов

– EGPS12Z – XCDA

– EGPS12SK – для очистки аммиака

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Системы очистки газов AERONEX AGPS для больших потоков 5 000 л/мин.

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Система 5 000 л/мин. – это одиночный модуль, размеры которого подобраны для одного сканера.

Имеющиеся модели: AGPS2EZ2 – XCDA и AGPS2EI – азот.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Системы очистки газов AERONEX AGPS для больших потоков 10 000 л/мин.

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Система 10 000 л/мин. – это двойной модуль, он размещается задник к заднику.

Имеющиеся модели: AGPS2FZ2 – XCDA и AGPS2FI – азот.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Очистители газов Chacollet™

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Очиститель газов Chacollet™ удаляет молекулярные примеси из высокочистого сжатого воздуха и азота. Эффективная защита сканеров для DUV фотолитографии.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ
Очистка и фильтрация воздуха

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Решения для контроля молекулярных примесей в воздухе (удаление примесей аминов, анионов кислот и следов органики).

Предназначение по месту применения:

1. HVAC. Потолочные фильтры чистых помещений размещаются в системах кондиционирования воздуха.

2. Сканер. Комплекс очистителей и фильтров, предназначенных для защиты от молекулярных примесей внутренней среды, оптики и газов эксимерных лазеров.

3. Фотолитографические треки. Фильтры для размещения в трековом фотолитографическом оборудовании, используются для удаления из воздуха молекулярных примесей.

Добавить товар в доп корзину

Подробнее
Под заказ

Каталог оборудования

А

Автоматы для мойки и дезинфекции лабораторного стекла
Аксессуары к мешалкам
Аксессуары к микроскопам
Анализатор
Анализаторы влажности
Аппарат Флоринского
Ареометр

Б

Бани водяные
Бани лабораторные
Боксы для ПЦР
Бутирометры

В

Весы
Вискозиметр
Выпарные аппараты
Вытяжные шкафы

Г

Гомогенизатор
Гомогенизатор ультразвуковой
Гомогенизаторы
Горелки лабораторные газовые

Д

Диспенсер
Диспергатор
Дистилляторы, бидистилляторы
Дозатор
Дозатор Sartorius
Дозатор Sartorius
Дозатор бутылочный
Дозатор механический
Дозатор многоканальный
Дозатор одноканальный
Дозатор пипеточный электрический
Дозатор пипеточный электрический
Дозаторы
Дробилка лабораторная

Е

Ершики Емкость

З

Замкнутая система Стеритест
Затвор

И

Измерители pH, проводимости, влажности, температуры
Измеритель проводимости
Инкубаторы
Испарители
Испарители ротационные лабораторные
Испарители ротационные полупромышленные
Испарители роторные
Испарители роторные полупромышленные
Испаритель

К

Калориметр
Колбонагреватель
Комплектные процессорные аппараты
Кондуктометр
Кондуктометр Hanna instruments
Крыло для подвода коммуникаций Waldner

Л

Лабораторная машина
Лабораторная мебель Waldner
Ламинарные боксы
Ламинарный шкаф

М

Макроскоп флуоресцентный
Мебель лабораторная
Мельница лабораторная
Механическая ступка
Механические пипетки
Мешалки верхнеприводные
Мешалки магнитные без нагрева
Мешалки магнитные с нагревом
Микродиссекторы, микроперфораторы, лазеры
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий
Микроскоп стерео
Микроскопы
Микроскопы инвертированные
Микроскопы лабораторные
Микроскопы общего назначения
Микроскопы прямые исследовательские
Микроскопы прямые начального уровня
Микроскопы сканирующие
"Микроскопы стерео
Морозильники

Н

Наконечники Biohit
Наконечники для автоматических пипеток
Наконечники к дозаторам
Насос вакуумный мембранный
Насос вакуумный мини
Насос мембранный для перекачки жидкостей
Насос механический
Насос ручной для перекачки агрессивных жидкостей
Насос центробежный
Насос электрический вакуумно-нагнетательный
Насос электрический для откачки жидкости
Насосы для пипеток

О

Осветительный модуль
Осветительный модуль к микроскопу IX2
Одноканальные дозаторы Thermo Labsystems
Одноканальные дозаторы
Одноканальные дозаторы Thermo Fisher Scientific

П

Пластиковая лабораторная посуда
Плитка муфтельная
Плитка нагревательная
Плотномеры цифровые
Подвод и распределение химических реагентов
Принадлежности лабораторные
Пробоотборники воздуха

Р

Рассев
Реактор лабораторный
Рефрактометры
Ростовые камеры
Роторные испарители

С

Система удаления отходов
Системы очистки воды
Скользящие элементы
Скрининговые комплексы
Стеклянная лабораторная посуда
Степпер механический
Стол лабораторный
Столы весовые
Столы для аналитических приборов
Столы лабораторные
Столы пристенные, островные, низкие
Столы титровальные
Столы-мойки
Сушилка для посуды
Сушильные шкафы

Т

Термостаты (инкубаторы) нагрев и охлаждение
Термостаты (инкубаторы) нагревающие
Термостаты водяные
Термостаты твердотельные

У

Ультразвуковые ванны
Ультразвуковые мойки
Установка для термической дезинфекции
Установка паровой стерилизации

Ф

Флакон-диспенсеры

Х

Холодильники
Холодильники-морозильники

Ц

Центрифуги «микро» (до 30x1,5 мл)
Центрифуги «мини» (до 4x100 мл)
Центрифуги гематокритные
Центрифуги универсальные
Центрифуги-вортексы
Цифровой титратор

Ч

Чаши

Ш

Шейкер
Шкаф выкатной
Шкаф вытяжной
Шкаф вытяжной с мойками для мытья посуды
Шкаф для одежды
Шкаф для утилизации твердых отходов и мусора
Шкаф для хранения кислот и щелочей
Шкаф лабораторный
Шкаф универсальный
Шкафы вытяжные
Шкафы для хранения и сейфы (высокие)
Шкафы и стеллажи для хранения
Шкафы подвесные

Щ

Щековая дробилка

Э

Электронные пипетки
Электропечи камерные
Электропечи муфельные
Электропечи трубчатые
Электропечи шахтные

Я

Якорная насадка

Хроматография

А

Аксессуары для газовой хроматографии
Аксессуары для жидкостной хроматографии
Анализаторы
Аксессуары для спектрофлюориметра

К

Капиллярный электрофорез

Р

Расходные материалы для газовой хроматографии
Расходные материалы для спектроскопии
Расходные материалы для газовой хроматографии

С

Системы ЯМР (ядерно-магнитного резонанса)
Спектрометры атомно-абсорбционные (Элементный анализ)
Спектрометры с индуктивно-связанной плазмой (Элементный анализ)
Масс-спектрометрические системы
Масс-спектрометры
Спектрофотометры
Спектрофлюориметры
Спектрофлуориметры сканирующие
Системы подготовки и ввода проб

Т

Твердофазная экстракция

Ф

Фотометры

Х

Хромато-масс-спектрометры
Хроматографы жидкостные
Хроматографы жидкостные низкого давления
Расходные материалы для жидкостной хроматографии
Расходные материалы для спектроскопии
Хроматография тонкослойная (ТСХ)
Хроматографы жидкостные высокого давления (ВЭЖХ)
Хроматографы жидкостные низкого давления
Хроматографы флэш
Хроматография тонкослойная (ТСХ): документирование
Газовые хроматографы
Ионные хроматографы